大数据优化制程参数 台工研院让LED生产变简单

作者:led屏 来源:未知 发布时间:2020-06-04 10:38

在复杂的发光二极管外延工艺中,气体成分和流量、压力、衬底温度和转速等参数会相互影响。设置和调整外延参数通常需要很长时间。根据过去的经验,制作一组参数需要6到8个小时,而找到最佳工艺参数通常需要一周时间。此外,为了获得更好的成品率,有必要依靠具有多年外延工艺经验的人员来判断参数设置。“人”成为收益率不均衡的关键。

如何使经验判断成为参考数据模拟?台湾理工大学正在测试将实验参数导入一个巨大的数据库。通过相关参数的优化,节省了工艺开发和验证的时间,开发了“外延工艺参数优化系统”。通过建立常识体系,也可以缩短相关人才的培养时间。

台湾理工大学开发的外延工艺参数优化系统集成了有机金属化学气相沉积设备的气流、热流、化学混响机制和气体喷头的关键模块,突破了传统的外延设备,找到了优化的工艺参数模式。外延工艺的数字化制造技术是引进ECOS的计算机物理系统(CPS)。在该系统中,“物理”部分是指连接机器和过程的气体喷射模块。“虚拟”部分是指过程参数数据库。通过工业研究所进行的测试,研发团队已经能够掌握气体喷射模块的功能,以及工艺参数数据库的运行模式和参数调节的准确性。

通过这种开发效果,不仅提高了工艺的正确性,而且外延参数的确定时间从一周缩短到不到2小时。通过将经验数字化,可以将人员变动对流程的影响降至最低。(编者:弗洛拉)

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